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堡盟OHDM 16光電傳感器在半導體晶圓搬運中的應用

閱讀次數(shù):322    發(fā)布時間:2024-10-24 17:40:54

AI給電子產(chǎn)品帶來新的變革,隨著產(chǎn)品的更新與迭代,半導體行業(yè)正在迎來又一次發(fā)展的契機。今天我們就給大家介紹一款在半導體行業(yè)的案例,堡盟OHDM 16光電傳感器在晶圓上下料機檢測定位中的應用。

保護晶圓,提高效率晶圓是制造芯片的基礎材料,晶圓的擺放與移動也是半導體工藝開始的最初工序。為了配合晶圓后期的芯片成品生產(chǎn)工藝,一般晶圓的上下料采用自動化的方式,由機械手負責夾取。但晶圓十分脆弱,在移動中很容易因輕微碰撞而產(chǎn)生損耗。

在實際的搬運場景中,晶圓是一片一片存放在晶圓蛋糕盒中或者叫傳輸盒中,有序地被機械手臂抽取出來并分片傳送出去,所以必須對蛋糕盒加裝晶圓定位傳感器。定位傳感器必須有較高的精準度,因為它影響著整個系統(tǒng)動作的流暢度。

堡盟OHDM 16光電傳感器在該應用中很好的發(fā)揮了做用,它采用了漫反射和背景抑制性的原理,采用激光對晶圓的邊緣進行定位。它的定位精準,晶圓的厚度非常薄,約為0.1~0.8mm,且邊緣為弧形,較為光亮,但這些條件都不會影響它的精準定位。

堡盟OHDM 16光電傳感器的出色定位能力,與它的創(chuàng)新設計密不可分,正是這樣的優(yōu)勢與特點讓其成為晶圓檢測中的不二之選。

產(chǎn)品特點:

1、它的晶圓定位版本可以用于晶圓邊緣的側(cè)面檢測。

2、大感應范圍感應距離Tw 123 … 143 mm||感應距離不可調(diào)。

3、采用了堅硬金屬外殼,因此也更加堅固耐用。

4、它擁有更好的重復精度,重復精度在激光焦點處< 0,1 mm,夾取的反復動作更加精確,可靠。

5、它采用了2級線激光對晶圓進行測試,擁有很好的穩(wěn)定性,并且線光斑對于高反光表面性能較好,不存在反光無法測量等狀況。

6、它擁有很好的帶背景抑制功能,對位置控制較為穩(wěn)定。


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