當(dāng)前所在位置: 首頁 > 產(chǎn)品首頁 >液壓、氣動 >閥門 >流量調(diào)節(jié)器/限流器/節(jié)流閥 >HORIBA高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器SEC-8000 系列
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品介紹
概要
質(zhì)量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需精確測量，需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量，是利用測量氣體的質(zhì)量，而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測和控制，且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
適用于高溫：可滿足150℃烘焙產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號超清潔類型：接氣部全不銹鋼構(gòu)造最適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
規(guī)格參數(shù)
|
SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器 |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
|
SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載 |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
|
SEC-8440LSL |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
|
SEC-8450LSL |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
10/20 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
|
SEC-8455LSL |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
30/50 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
|
SEC-8460LSL |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
50/100 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
|
SEC-8440LSM |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃ |
|
SEC-8450LSM |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
10/20 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃ |
|
SEC-8455LSM |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
30/50 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃ |
|
SEC-8460LSM |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
50/100 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃ |
|
SEC-8440LSH |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
|
SEC-8450LSH |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
10/20 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
|
SEC-8455LSH |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
30/50 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
|
SEC-8460LSH |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
50/100 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
|
SEC-8440SL |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
|
SEC-8450SL |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
3/5/10 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
|
SEC-8455SL |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
10/20 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
|
SEC-8460SL |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
20/30/50 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
|
SEC-8440SM |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
|
SEC-8450SM |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
3/5/10 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
|
SEC-8455SM |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
10/20 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
|
SEC-8460SM |
|
|
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS-316L |
|
閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
|
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 |
20/30/50 SLM |
|
流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
|
流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
津公網(wǎng)安備12010102000946號
