ENTEGRIS凈化柜RSPX-DPC-048SS-31A

可進行單獨吹掃，減少網罩內的微粒和濕氣。光罩凈化柜加入了我們完整的光罩處理和存儲解決方案組合，有助于保持沒有污染的環(huán)境。機柜設計支持所有 150 mm網紋柵 SMIF pod (RSP150)、200 mm網紋柵 SMIF pod (RSP200) 和EUV網紋柵 pod。

機柜可提供一種或兩種清洗氣體和多達 84 個清洗位置，從而可以對吊艙進行單獨清洗，以減少吊艙內的顆粒和水分。每個機柜都包括一個 pod 監(jiān)控系統，可實現可追溯性和足夠的清洗時間。

符合人體工程學的設計使工廠人員能夠有保障的裝載

RFID 讀/寫功能實現了吊艙的可追溯性

集成的用戶界面可提供有關吊艙位置和清洗時間的信息

可選擇吹掃巢穴數量（可達 84 個），提供設計靈活性和多功能性

設計堅固，安裝和維護簡單

龐大的已安裝客戶群證明了產品的可靠性和性能

產地：美國

容量：24、36、48 或 84 個清洗套

清洗接口：RSP150 SMIF 或 RSP200/EUV 可選

RFID 識別：讀/寫功能

門：可根據需要提供

吹掃氣體：1 或 2

接口：RSP150

沖洗廢氣：48

清洗氣體：1

壓力控制器：無

RSP150 SMIF 占地面積（長×寬×高）：1.56 x 0.66 x 1.97 米(5.12 x 2.17 x 6.46 英寸)

RSP200/EUV 占地面積（長×寬×高）：2.20 x 0.50 x 2.07 米（7.22 x 1.64 x 6.79 英寸）；

3.33 x 0.50 x 2.07 米（10.93 x 1.64 x 6.79 英寸）

Reticle pod 存儲、視網膜莢凈化