ENTEGRIS濃度監(jiān)測(cè)儀CPAAALAXX8F8F

用于在線液體化學(xué)品應(yīng)用的過程監(jiān)控。InVue CR288 濃度監(jiān)測(cè)儀配有 288-connect 軟件包，可為使用點(diǎn)的化學(xué)品/混合物混合、添加和稀釋提供實(shí)時(shí)信息，而不會(huì)造成過程干擾或中斷。基于 PC 的圖形用戶界面和 LCD 顯示屏集成了數(shù)據(jù)采集、分析和現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)功能，并提供方便、可擴(kuò)展的數(shù)據(jù)接口和采集選項(xiàng)。光學(xué)系統(tǒng)可計(jì)算實(shí)時(shí)濃度和溫度補(bǔ)償數(shù)據(jù)，從而提高生產(chǎn)率。InVue CR288 濃度監(jiān)測(cè)儀通過了 USP VI 級(jí)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，可平穩(wěn)集成到生物過程中進(jìn)行在線濃度監(jiān)測(cè)。

通過折射率 (IoR)，這款高性價(jià)比、高性能的濃度監(jiān)測(cè)器可提高工藝效率，用于監(jiān)測(cè) BEOL、FEOL 和子工廠化學(xué)品混合和輸送系統(tǒng)。

隨附的 288-connect 用戶軟件可在幾分鐘內(nèi)完成現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，從而降低擁有成本、DDU、GUI和軟件簡(jiǎn)化編程和使用

設(shè)備占地面積小，可直接與工藝化學(xué)品輕松安裝在一起

小型化傳感器，分析系統(tǒng)的敏捷封裝，實(shí)現(xiàn)定制和設(shè)計(jì)靈活性

比其他技術(shù)更快地實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確性

即使使用非導(dǎo)電流體，也能準(zhǔn)確重復(fù)地測(cè)量濃度

輕松集成到新工具或現(xiàn)有工具中

傳感器沒有耗材，更換零件更少意味著硬件維護(hù)少

產(chǎn)地：美國(guó)

流動(dòng)池材質(zhì)：聚四氟乙烯

光學(xué)窗口材質(zhì)：半導(dǎo)體級(jí)藍(lán)寶石

電纜和帽蓋材質(zhì)：聚丙烯 (PP)

電纜和閥蓋材質(zhì)：聚丙烯 (PP)

流體壓力額定值：0 至 5.5 巴（0 至 80 psig）

額定流體溫度：5 至 50 °C (41 至 122 °F)

工藝流體折射率范圍：1.28000 至 1.40000

DDU 運(yùn)行參數(shù)

電源要求：24 V (DC) ± 5 %，Min 0.5 A

附帶電源輸入要求：110/ 240 VAC，50/ 60 ± 3 Hz

串行端口：RS-232

模擬輸出：4-20 mA

電氣連接器：符合 IP67 標(biāo)準(zhǔn)，12 極，1 A，面板安裝型

工作環(huán)境：室溫 - 25 ± 5 °C (77 ± 9 °F)

機(jī)器接口：4-20 mA RS-232：模擬，可擴(kuò)展分辨率 數(shù)字串行接口

軟件：基于 Windows 的界面，用于用戶設(shè)置、校準(zhǔn)、監(jiān)控和記錄多達(dá)四個(gè)傳感器的數(shù)據(jù)。系統(tǒng)要求 Windows 98 或更高版本、128+MB 內(nèi)存、CD-ROM。

濕化學(xué)應(yīng)用、BEOL 和 FEOL 清潔、化學(xué)機(jī)械平坦化 (CMP)、電鍍、光刻