ENTEGRIS氣體凈化系統(tǒng)GPS500Z3

連續(xù)高流量、使用點凈化 XCDA（潔凈干燥空氣）凈化氣體，擁有成本低

GateKeeper 氣體凈化系統(tǒng) (GPS) Z3 系列是 Entegris 新推出的連續(xù)服務氣體凈化系統(tǒng)。該系統(tǒng)為氣體凈化帶來了新型的技術，為半導體制造商提供了創(chuàng)新、有效、經(jīng)濟的解決方案，用于凈化干式和浸入式光刻工具中使用的凈化氣體。

新型 "Z3 "介質代表了 Entegris 在凈化技術方面的新進展，其出口純度可達到萬億分之一（ppt）的水平。該系統(tǒng)采用環(huán)境溫度凈化，因此凈化時無需加熱。這意味著節(jié)約資源和降低能源成本。全球定位系統(tǒng)能有效去除 CDA（空氣）氣體中的污染物，如揮發(fā)性酸堿、難熔化合物、可冷凝有機物和水分。

凈化能力達到 ppt（百萬億分之一）級

壓降低，無需改變入口壓力

自再生凈化器

擁有成本低

環(huán)境溫度凈化

斷電不會損壞凈化系統(tǒng)

GPS400Z3：Max流量 400 Nm³/hr (6211 SLM)

GPS500Z3：Max流量 500 Nm³/hr (7764 SLM)

GPS600Z3：Max流量 600 Nm³/hr (9317 SLM)

自動旁通閥、濕度指示器、帶累加器的工藝氣體質量流量計

產(chǎn)地：美國

凈化氣體：CDA（空氣）

介質類型：無機

去除的污染物

揮發(fā)性酸：<1 ppt

揮發(fā)性堿：<10 ppt

難溶化合物：<1 ppt

可凝結有機物：<1 ppt

水分：<100 ppt

工作壓力范圍：5.51 至 17.23 巴（80 至 250 psig）

壓降：< 14.5 psi @ 100 psig 和Max額定流量

Max流量：500 Nm³/hr (7764 SLM)    

氣體工作溫度：15 至 40 °C (60 至 104°F)

出口過濾（ISO 1 級）：<10 顆粒/m³ @ 0.1 μm；<2 顆粒/m³ @ 0.2 μm

泄漏等級：1 × 10^-9 atm cc/sec

光刻技術、FOUP 清潔和吹掃、儲料器清洗和吹掃、需要 XCDA 凈化氣體的其他應用