ICHOR計(jì)量閥MMV-18-1-3-LF-B-H

Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計(jì)量閥和止回閥，其性能和純度均達(dá)到或超過所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供高可靠性和價(jià)值，而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。我們所有閥門的設(shè)計(jì)均符合 SEMI 規(guī)范，具有良好的可靠性和性能，并與市場上所有競爭系統(tǒng)兼容。客戶須確保所選部件是符合其防護(hù)性能的適當(dāng)部件，同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。

模塊化計(jì)量閥

1.125" C 型密封

3 端口，低流量

316L SST SEMI F20 VIM/VAR

高純度

純度

材料

流速

端口數(shù)

密封類型

底座尺寸

產(chǎn)地：美國

工作壓力：真空至 200 psig

Max流量系數(shù)：0.025 cv

流量：小流量

孔徑：0.032 英寸

工作溫度：-20 至 200 ℃（13 至 392 ℉）

底座尺寸：1.125 英寸

密封類型：C 形密封

端口數(shù)：3 個(gè)端口

閥體材料：316L SST semi F20 VIM/VAR

純度等級：高純度

膜片材料：elgiloy

潤濕表面處理：10 ra

清洗：超聲波清洗和電拋光

驅(qū)動類型：手動旋轉(zhuǎn)

爆破壓力：3000 psig

流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案