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ICHOR止回閥MCV-18-2-3-2-M-U

產(chǎn)品介紹

Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計量閥和止回閥,其性能和純度均達(dá)到或超過所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供優(yōu)良的可靠性和價值,而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計。我們所有閥門的設(shè)計均符合 SEMI 規(guī)范,具有高可靠性和性能,并與市場上所有競爭系統(tǒng)兼容??蛻繇毚_保所選部件是符合其防護(hù)性能的適當(dāng)部件,同時考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。

性能特點(diǎn)

模塊化止回閥

1.125" W-密封

3端口,鎳400

更高純

選型指南

純度

材料

配置

端口數(shù)

密封類型

底座尺寸

  • 材料代號

S = 316L SST semi F20

A = 316L

B = 316L SST semi F20 VIM/VAR

N = 鎳 200

M = 鎳 400

H = 鎳合金 C22

  • 純度代號

S = 標(biāo)準(zhǔn)表面處理

H = 高純度

U = 更高純度

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

工作壓力:3000 psig

零件類型:組合式止回閥

配置:中央

表面處理:5 ra

工作溫度:-28 至 200 ℃(20 至 400 ℉)

彈簧材料:埃爾吉洛伊

底座尺寸:1.125 英寸

密封類型:W 形密封

端口數(shù):3 端口

主體材料:鎳 400

純度等級:更高純

清洗:超聲波清洗

爆破壓力:12000 psig

密封材料:氟橡膠

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案


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